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      新聞資訊

      半導體芯片制造無塵車間設計方案
      時間:2022-04-28

      芯片由于其精密性能原因,對于外界的環境敏感程度比較高,如果有灰塵沾染就可能造成芯片的失效等情況,為了降低這種風險,需要把制造機器安置在基本上沒有任何微塵的無塵車間里。具體談談半導體芯片制造無塵車間設計方案。


      該項目廠區設潔凈生產區600㎡(非潔凈生產區和倉儲辦公用房另計),四周設清潔走廊,潔凈生產區潔凈等級按照廠家要求全部確定為百級,清潔走廊為萬級,為滿足光刻、腐蝕、擴散、蒸發、表面純化等工藝流程上的往復交叉,相對高的空間布局是為拓寬對不同生產工藝的適應性和發展變化的靈活性。當下有很多廠方都采用此種設計此種做法也更接近國外的先進設計。

      無塵車間采用孔狀框型地板,以便空氣能夠從天花板垂直流動到制造和設備區的底部區域,當氣流回送到無塵室時,將通過微??諝膺^濾器除去氣流所帶的大部分微粒??諝鈹_流會將墻壁、天花板、桌子和工具表面上的微粒帶入空氣中,而且使得微粒不容易靜止,但通過線性氣流后,空氣中的微粒就能很快被氣流帶走。因此楚翔將維持線性直線氣流、避免空氣擾動作為該無塵車間的建設重點。

      針對IC生產的工藝高要求,百級環境人凈與物凈設施需要嚴格按照標準建設。

      遵循人凈要求做動線布局設計:

      入口-換鞋-更換外出服-洗浴-清潔走廊-二次洗浴-換潔凈服-風淋室-潔凈生產區

      遵循物凈要求做動線布局設計:

      入口-原料庫-粗潔凈-傳遞窗-精潔凈-傳遞窗-潔凈生產區-傳遞窗-包裝-成品庫

      除此之外在施工階段要嚴格注意各工段的防靜電區域,除了防靜電裝修,必要的工段設計師要布局專業的防靜電儀器,同時,消防和自控系統因地制宜。楚翔一般會將空氣凈化機房、超純水處理站設計于同一層,潔凈空氣、純凈水通過技術管道夾層送到潔凈生產區??梢杂行У乇苊庠O備運行時震動產生灰塵,設備用房與主體廠房間結構設縫斷開。

       

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